適用晶圓直徑:320mm

機(jī)器人類型:晶圓傳輸機(jī)器人

最大負(fù)載能力:10kg

重復(fù)定位精度:±0.02mm

工作范圍:300mm

驅(qū)動(dòng)方式:伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

控制系統(tǒng):PLC控制

防護(hù)等級(jí):IP65

重量:50kg

尺寸:800mm x 600mm x 1000mm (長(zhǎng)x寬x高)

    Dynax 65AX-089 320mm半導(dǎo)體晶圓傳輸機(jī)器人組件采用先進(jìn)的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，確保了高速度和高精度的晶圓傳輸。

    其PLC控制系統(tǒng)提供了穩(wěn)定可靠的運(yùn)行保障，能夠在嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境中持續(xù)作業(yè)。

    該組件由高強(qiáng)度鋁合金制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度。

    設(shè)計(jì)上采用了模塊化理念，便于安裝和維護(hù)。

    此外，其IP65防護(hù)等級(jí)使得該機(jī)器人組件能夠在多種環(huán)境下可靠工作，無(wú)論是干燥還是潮濕的車間環(huán)境。

    通過(guò)精確的定位系統(tǒng)和智能的控制系統(tǒng)，該組件能夠有效提高晶圓生產(chǎn)線的效率和可靠性，是半導(dǎo)體制造行業(yè)的理想選擇。